×

Вы используете устаревший браузер Internet Explorer. Некоторые функции сайта им не поддерживаются.

Рекомендуем установить один из следующих браузеров: Firefox, Opera или Chrome.

Контактная информация

+7-863-218-40-00 доб.200-80
ivdon3@bk.ru

  • Разработка биморфного термоактюатора и конструкции микрозеркала на его основе

    Предложена конструкция актюатора, состоящего из тонких слоев диоксида кремния и алюминия. Выполнены расчеты скорости срабатывания и теплообмена актюатора. При условии оптимального подбора толщин слоев и оптимизации стадий технологического процесса, в особенности глубокого селективного травления кремния, могут быть получены наилучшие показатели по углу отклонения зеркала и скорости работы устройства. Чем больше разность между начальной температурой и температурой нагрева, тем сильнее опускается балка актюатора к плоскости пластины, и, соответственно, меньше угол подъема актюатора над поверхностью пластины. Таким образом возможно осуществлять управление углом наклона балки путем подбора соответствующего нагревателя и напряжения, обеспечивающего необходимую температуру. Приведена конструкция микрозеркала на основе предложенного актюатора. Разработанная конструкция микрозеркала на основе термостимулированного актюатора позволяет обеспечить управление наклоном зеркала в широких пределах.

    Ключевые слова: кремний, термоактюатор, микромеханические системы, биморфная структура, микрозеркало

    05.27.01 - Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах

  • Сведения об авторах (№1, 2013)

    Сведения об авторах выпуска №1 (2013)

    Ключевые слова: авторы