×

Вы используете устаревший браузер Internet Explorer. Некоторые функции сайта им не поддерживаются.

Рекомендуем установить один из следующих браузеров: Firefox, Opera или Chrome.

Контактная информация

+7-863-218-40-00 доб.200-80
ivdon@ivdon.ru

Исследования влияния относительной влажности воздуха на электрическое сопротивление нанокристаллических пленок ZnO, полученных методом реактивного магнетронного распыления

Аннотация

Гусев Е.Ю., Михно А.С., Гамалеев В.А., Юрченко С.А.

Дата поступления статьи: 17.10.2014

Изготовлена серия образцов нанокристаллических пленок оксида цинка методом реактивного магнетронного распыления при различных режимах, при подогреве до 200-250°С и последующем отжиге. Исследовано влияние относительной влажности в диапазоне 25-80% на сопротивление пленок оксида цинка. Установлен характер влияния режимов получения на электрическое сопротивление пленок при различных значениях относительной влажности. Определен оптимальный режим получения пленок оксида цинка методом магнетронного распыления для изготовления газовых сенсоров, при котором влияние относительной влажности на сопротивление минимально.

Ключевые слова: нанокристаллические пленки, оксид цинка, магнетронное распыление, электрическое сопротивление, относительная влажность

05.27.01 - Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах

Начиная с № 3 2014 на сайте журнала статьи предоставлены только в PDF и Word Форматах.

Читать статью в формате PDF